2020年12月3日，上海電子化學品專區(qū)正式揭牌設立，專區(qū)以光刻膠以及配套材料、電子特氣和濕電子化學品三大類產(chǎn)品為發(fā)展重點，構(gòu)建以上海化學工業(yè)區(qū)為主體，金山、奉賢分區(qū)協(xié)同發(fā)展的“一體兩翼”格局，力爭成為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的材料支撐基地。為加快專區(qū)建設，促進招商引資，優(yōu)化營商環(huán)境，2021年3月，上?；瘜W工業(yè)區(qū)管理委員會（以下簡稱“化工區(qū)管委會”）出臺了《上海化學工業(yè)區(qū)產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展專項扶持實施辦法》（滬化管〔2021〕25號）。

受化工區(qū)管委會的委托，我公司承擔上?；瘜W工業(yè)區(qū)產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展專項扶持項目的評估工作。 2021 年7月 28日，上咨集團產(chǎn)業(yè)科技部組織召開了上海彤程電子材料有限公司“KrF半導體光刻膠產(chǎn)業(yè)化”和上海昭和電子化學材料有限公司“高純度電子氣體擴建”兩個項目專家評審會。“KrF半導體光刻膠產(chǎn)業(yè)化”項目主要研究低金屬離子含量及低顆粒含量的光刻膠的生產(chǎn)工藝，滿足集成電路制造用KrF光刻膠的技術(shù)需求。“高純度電子氣體擴建”項目主要提高八氟環(huán)丁烷的提純產(chǎn)能，實現(xiàn)一氧化二氮的國產(chǎn)化，提升氟碳類氣體檢測能力以及對進口高純度氣體的儲存銷售能力。

會議邀請了集成電路、電子材料、國產(chǎn)設備材料認證、產(chǎn)業(yè)投資等方面的 5 位專家，化工區(qū)管委員會相關(guān)同志一同出席會議。會上，與會專家對項目方向及目標、技術(shù)先進性、項目承擔單位實力、建設方案合理性、建設條件完備性、產(chǎn)業(yè)帶動效應等方面進行評議，并提出了進一步優(yōu)化完善的意見和建議。

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